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CVD(Chemical Vapor Deposition )ダイヤモンド薄膜は化学気象堆積法により成膜する;両面仕上げ後、色が透明色で、レギュラーサイズの直径は120mm 以上に達し、厚さは1mmの場合、光の透過率は60%以上に達する(図1参照)。ダイヤモンドは典型的な多機能の材料として高熱伝導率、高屈折率、抗放射線、化学惰性、優れた電気学と力学の性能を有し、特に8~12μm長波赤外線帯の光学のウィンドウ材料に適用する。すべての赤外線光学の材料にいて、CVDダイヤモンド薄膜は光の透過性、熱衝撃性を唯一に結合して、しかも雨滴と固体の粒子の衝撃及び化学腐食に高い耐久性を持つ材料である。もっと重要なのは、ダイヤモンドの低い熱膨張係数と高熱伝導率があるため、ダイヤモンドが優良な耐熱振動性能を持ち、高温の環境の下で良好な光学の性能を維持し、それは厳しい環境の下で使用する最高の赤外光学のウィンドウ材料になる。
応用:大パワーレーザとデテクター のウィンドウ素材、光学レンズ保護膜、輻射デテクター、ミサイルレーダーカバーなど。
図1
ダイヤモンドとその他の常用の赤外材料性能の対比 | |||||||
物理性質 | ダイヤモンド | ZnSe | ZnS | Ge | Si | GaAs | Al2O3 |
帯隙間/eV | 5.48 | 2.7 | 3.9 | 0.664 | 1.11 | 1.42 | 9.9 |
遮断波長/μm | . | 20 | 14 | 23 | . | . | 5.5 |
吸収係数 | 0.1-0.3 | 0.005 | 0.2 | 0.02 | 0.35 | 0.01 | . |
吸収係数(10.6μm) | 0.1-0.6 | 0.0005 | 0.2 | 0.02 | . | . | . |
顕微硬度/(kg/mm2) | 8300 | 137 | 230 | 780 | 1150 | 721 | 190 |
屈折率 | 2.38 | 2.40 | 2.19 | 4.00 | 3.42 | 3.28 | 1.63 |
dn/dT/(10-3/K) | 1.0 | 6.4 | 4.1 | 40 | 13 | 15 | 1.3 |
熱伝導率/【W/(cm.K)】 | 18-22 | 0.19 | 0.27 | 0.59 | 1.63 | 0.55 | 0.35 |
熱膨張係数/10-6k-1 | 1.3 | 7.6 | 7.9 | 5.9 | 2.56 | 5.9 | 5.8 |