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金刚石是自然界存在的特殊材料之一，具有高的硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙、高的声传播速率以及良好的化学稳定性等，如表1所示。虽然天然金刚石具有这些的特性，但是它们一直仅仅是以宝石的形式存在，其性质的多变性和稀有性极大地***了其应用。而金刚石膜将 这些优异的物理化学性能集一身，且成本较天然金刚石低，能够制备各种几何形状，在电子、光学、机械等工业领域有广泛的应用前景。
高的硬度(ca. 90Gpa)和耐磨性能 |
高体积模量 (1.2×1012N•m-2) |
极低的可压缩比 (8.3×1013m2 •N-1) |
室温下有***高的热导率 (2×1013W(m•K)-1) |
极低的热膨胀系数 (1×10-6K) |
从紫外到远红外的各个波段都具有非常高的透过率 |
高的声音传导速率 (17.5km•s-1) |
良好的绝缘性能(室温下电阻率为 （ca. 1016Ω•cm）） |
掺杂后可以成为半导体材料 |
极宽的禁宽度（ 5.4eV） |
良好的化学惰性和生物相容性 |
一些晶面表现出了很低或“负”的电子亲合性 |
