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CVD(Chemical Vapor Deposition )金刚石膜是采用化学气象沉积法制造;双面抛光后,颜色呈透明色,常规尺寸直径可达120mm以上,厚度为1mm时,透光率可达60%以上 (参图1)。金刚石作为典型的多功能材料,具有高热导率、高折射率、抗辐射、化学惰性、优异的电学及力学性能,特别适用于的8~12μm长波红外波段的光学窗口材料。
在所有的红外光学材料中,CVD金刚石膜是***一种结合了透光性、热冲击性并对雨滴和固体粒子冲击以及化学腐蚀具有高度耐久性的材料。更为重要的是,金刚石极低的热膨胀系数和高热导率使金刚石具有优良的抗热振性能,在高温环境下保持良好的光学性能,使其成为苛刻环境下服役的***佳红外光学窗口材料。
应用:大功率激光器和探测器窗口材料、光学透镜保护膜、辐射探测器、导弹雷达罩等。
图1
金刚石与其他常用红外材料性能对比 | |||||||
物理性质 | 金刚石 | ZnSe | ZnS | Ge | Si | GaAs | Al2O3 |
带隙/eV | 5.48 | 2.7 | 3.9 | 0.664 | 1.11 | 1.42 | 9.9 |
截止波长/μm | . | 20 | 14 | 23 | . | . | 5.5 |
吸收系数 | 0.1~0.3 | 0.005 | 0.2 | 0.02 | 0.35 | 0.01 | . |
吸收系数(10.6μm) | 0.1~0.6 | 0.0005 | 0.2 | 0.02 | . | . | . |
显微硬度/(kg/mm2) | 8300 | 137 | 230 | 780 | 1150 | 721 | 190 |
折射率 | 2.38 | 2.40 | 2.19 | 4.00 | 3.42 | 3.28 | 1.63 |
dn/dT/(10-3/K) | 1.0 | 6.4 | 4.1 | 40 | 13 | 15 | 1.3 |
热导率/【W/(cm.K)】 | 18~22 | 0.19 | 0.27 | 0.59 | 1.63 | 0.55 | 0.35 |
热膨胀系数/10-6K-1 | 1.3 | 7.6 | 7.9 | 5.9 | 2.56 | 5.9 | 5.8 |